真空熱處理爐包括真空退火爐、真空燒結(jié)爐、高溫高壓真空爐、真空加熱爐，氣氛真空爐、真空管式爐、真空箱式爐等；真空熱處理爐分為外熱式和內(nèi)熱式，本文為我們介紹的是內(nèi)熱式真空熱處理爐。1.內(nèi)熱式真空熱處理爐的結(jié)構(gòu)內(nèi)熱式真空熱處理爐是將整個(gè)加熱設(shè)備（加熱元件、耐火材料）及欲處理的工件均放在真空容器內(nèi)，沒(méi)有爐罐，整個(gè)爐殼便是一個(gè)真空容器。爐中安設(shè)電熱元件、隔熱屏、爐床、電扇、傳送機(jī)構(gòu)和其他構(gòu)件等。經(jīng)過(guò)電熱元件的熱輻射或充入氣體氣流循環(huán)加熱工件，爐殼多采用雙層水冷式規(guī)劃，因而也可稱作冷壁式真空爐。

電熱元件多位于加熱室中部，圍繞工件有用加熱區(qū)規(guī)劃安置，外部是金屬輻射屏或非金屬隔熱屏結(jié)構(gòu)，爐床安裝在加熱室下部，電扇結(jié)構(gòu)所安設(shè)在冷卻室，也有安設(shè)于加熱室的一端，上部或下部，并且和熱交換器設(shè)備組成強(qiáng)制氣流循環(huán)的加熱和冷卻系統(tǒng)。傳遞機(jī)構(gòu)多設(shè)在冷卻室，有些和爐外料筐支架相連，依據(jù)用處和某些特殊要求采納不同型式結(jié)構(gòu)。加熱電極經(jīng)過(guò)爐殼引入，規(guī)劃時(shí)要考慮加熱電極的水冷和密封結(jié)構(gòu)，以保證其良好的工作特性。

現(xiàn)在內(nèi)熱式真空熱處理爐形式多樣，按其外形及結(jié)構(gòu)可分為立式、臥式、單室、雙室和三室。工作冷卻方式分為自冷、負(fù)壓氣冷、負(fù)壓油冷和加壓氣冷（2×103pa）、高壓氣冷（2×10?pa）及超高壓氣冷（20×10?pa）等爐型。依照熱處理工藝科分為淬火爐和回火爐。有單功能的，也有多功能的。

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