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真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐是在真空或保護氣氛下，利用中頻感應(yīng)原理將置于感應(yīng)線圈內(nèi)的石墨坩堝加熱，也可電阻加熱，石墨坩堝中放入被制備的碳-碳復(fù)合材料。在一定溫度下將坩堝加熱到規(guī)定溫度，并通入稀釋的碳氫氣體。該氣體
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